テーマ:太陽電池のプラズマ活性化。酸化物の除去(脱酸素)。太陽光発電モジュールのプラズマポリマーコーティング。モジュール表面の機能性コーティング。

機能性表面を備えた太陽光発電モジュール:大気圧プラズマコーティングによる機能強化

太陽電池や太陽光発電モジュールの製造における課題として、最高の品質規格を維持しつつ、製造の効率化や簡素化を実現し、コスト効率を高めることがあげられます。太陽電池の製造においては、完全に確立された技術として、低圧プラズマ、エッチング、コーティングプロセスが利用されています。これらのプロセスの場合、プロセス条件を長時間維持する必要があるため、非常に複雑なプロセスとなり、連続して行うことができません。

Openair®プラズマを利用すれば、大気圧条件下において、以下の2種類の高効率ソリューションを実現することができます。

  • 機能性プロセスガスを用いた太陽電池のプラズマ活性化
    -ウエハーの選択的エッチング効果による制御下での物質の除去
    - 還元プラズマを用いた酸化物の除去(脱酸素)
  • Openair®プラズマを用いたプラズマポリマーコーティング
    太陽光発電モジュールのインラインコーティングに関する新たな可能性
    プラズマポリマーコーティングを利用すれば、モジュール表面の選択した領域に機能化処理(機能性コーティング)を施すことができます。したがって、以下の実現が可能です。
    - 透過率の改善(反射の抑制)
    - 光触媒によるバイオフィルムの形成防止
    - 表面に超疎水性を付加し、汚れの付着を防止

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