テーマ：　電子部品の接着前プラズマ処理、半導体プレート洗浄、コンタクト面の金属洗浄、CD前処理
ウエハー洗浄

産業界での応用:　電子部品加工の前処理のためのオープンエアープラズマ

純度やポテンシャルフリーに対する高い要求

エレクトロニック産業では、オープンエアープラズマテクノロジーが、新しい工程で、電子回路部品の組み立てや規格化に使われています。清潔さへの高い要求と同じく、ポテンシャルフリー処理が実現しました。そのため、シリコンウエハーや敏感なLCDディスプレイ、ワイヤボンディングプロセス中のICへの処理にも非常に効果的です。

電子基板ケースの接着前処理	鋳造前のプラチナ静電気防止洗浄

オープンエアープラズマをインラインで

プラズマノズルとプラズマコンポーネントは、簡単に既存の生産ラインに取り入れていただけるため、特別な作業室を設ける必要はありません。大気圧下で不活性ガスを使用して処理しますので、酸素による影響が低減されました。

→　ご希望により、その他のアプリケーションに関する情報や、このテーマについての研究発表をお送りいたします。この分野のお問い合わせは、各国・各地域の営業のほかに、プラズマトリート南ドイツ支店のペーター・ラングホーフが承っております。